レーザー変位センサ
三角測量式を採用したレーザー変位計です。装置搭載に最適なコントローラ内蔵式のコンパクトタイプから、研究開発用の超高速、超高精度モデルまで、多数のラインナップを取り揃えております。また、各モデルには荒れた表面を計測する専用タイプ、発光する対象物を測定するためのブルーレーザー式など、目的と用途に応じ、最適な製品をご提案できます。
コンパクトモデル
コントローラ内蔵式で、小型でありながら優れた基本性能を持っています。ローコストな製品も多く、装置組込にも最適です。
アンプ一体型高精度モデル
ILD1900
アンプ一体型の小型高精度モデルILD1900が発売されました。表面補正機能 "ASC"が搭載されており、測定が困難な反射率が変化する表面でも安定した測定が可能です。レーザーセンサで初めて採用された2段階平均機能より、エッジや段差でも滑らかな信号波形が得られます。フィッティングスリーブを使った取り付けにより、自動的に正しい位置にセンサを取り付けることが可能です。コンパクト設計のため、研究開発や装置組込用途に最適です。
また粗面や反射表面に有効なレーザーライン（LL）タイプも別途ご用意しております。
【主要スペック】
測定範囲：2mm、10mm、25mm、50mm、100mm、200mm、500mm
直線性：±1μｍ～
再現性：0.1μm以下～
サンプリングレート：～10KHz(可変)
出力：アナログ（0～10V、0～5V、4～20mA、スケーリング可）、RS422
※別途オプションにてEtherCAT、EtherNet/IP、PROFINETタイプもございます。
また粗面や反射表面に有効なレーザーライン（LL）タイプも別途ご用意しております。
【主要スペック】
測定範囲：2mm、10mm、25mm、50mm、100mm、200mm、500mm
直線性：±1μｍ～
再現性：0.1μm以下～
サンプリングレート：～10KHz(可変)
出力：アナログ（0～10V、0～5V、4～20mA、スケーリング可）、RS422
※別途オプションにてEtherCAT、EtherNet/IP、PROFINETタイプもございます。
アンプ一体型コンパクトモデル(超小型、ローコストタイプ)
ILD1220
ILD1220は、コントローラアンプ一体型のレーザー変位センサです。
超小型、かつ軽量のため、狭小スペースやロボットアームへの取り付けに最適です。測定対象物の色や明るさに応じて、必要なパラメータを自動的に調整する新機能を搭載、従来機よりさらに安定した計測が可能となりました。このサイズとしては非常に優れた精度と測定スピードを両立しており、高いコストパフォーマンスを誇ります。
【主要スペック】
測定範囲：～50mm
測定スピード：～1kHz（可変）
直線性：±10μm～
再現性：3.7μm～
重量：約30g（ケーブル除く）
超小型、かつ軽量のため、狭小スペースやロボットアームへの取り付けに最適です。測定対象物の色や明るさに応じて、必要なパラメータを自動的に調整する新機能を搭載、従来機よりさらに安定した計測が可能となりました。このサイズとしては非常に優れた精度と測定スピードを両立しており、高いコストパフォーマンスを誇ります。
【主要スペック】
測定範囲：～50mm
測定スピード：～1kHz（可変）
直線性：±10μm～
再現性：3.7μm～
重量：約30g（ケーブル除く）
アンプ一体型コンパクトモデル(超小型、ローコストタイプ)
ILD1320
ILD1320は、コントローラアンプ一体型のレーザー変位センサです。
超小型、かつ軽量のため、狭小スペースやロボットアームへの取り付けに最適です。測定対象物の色や明るさに応じて、必要なパラメータを自動的に調整する新機能を搭載、従来機よりさらに安定した計測が可能となりました。このサイズとしては非常に優れた精度と測定スピードを両立しており、高いコストパフォーマンスを誇ります。
【主要スペック】
測定範囲：～100mm
測定スピード：～2kHz（可変）
直線性：±10μm～
再現性：1μm～
重量：約30g（ケーブル除く）
超小型、かつ軽量のため、狭小スペースやロボットアームへの取り付けに最適です。測定対象物の色や明るさに応じて、必要なパラメータを自動的に調整する新機能を搭載、従来機よりさらに安定した計測が可能となりました。このサイズとしては非常に優れた精度と測定スピードを両立しており、高いコストパフォーマンスを誇ります。
【主要スペック】
測定範囲：～100mm
測定スピード：～2kHz（可変）
直線性：±10μm～
再現性：1μm～
重量：約30g（ケーブル除く）
アンプ一体型コンパクトモデル(超小型、ローコストタイプ)
ILD1420
ILD1420は、コントローラアンプ一体型のレーザー変位センサです。
超小型・軽量な特長はそのままに、さらにILD1320と比べて約2倍の高速、かつ高精度な測定を可能にしました。センサの設定は、本体スイッチ操作の他に、PCと接続してWebブラウザで行えます。これによって、測定アプリケーションに応じた、より詳細かつ自由なセッティングが可能になりました。サイズ、機能、性能の全てを高い次元で兼ね備えたILD1420は、マシン搭載やFAラインでの高精度計測などの分野において、新たな可能性をもたらすでしょう。
【主要スペック】
測定範囲：～500mm
測定スピード：～4kHz(可変）
直線性：±8μm～
再現性：0.5μm～
重量：約60g ※センサケーブル(0.3m）含む
超小型・軽量な特長はそのままに、さらにILD1320と比べて約2倍の高速、かつ高精度な測定を可能にしました。センサの設定は、本体スイッチ操作の他に、PCと接続してWebブラウザで行えます。これによって、測定アプリケーションに応じた、より詳細かつ自由なセッティングが可能になりました。サイズ、機能、性能の全てを高い次元で兼ね備えたILD1420は、マシン搭載やFAラインでの高精度計測などの分野において、新たな可能性をもたらすでしょう。
【主要スペック】
測定範囲：～500mm
測定スピード：～4kHz(可変）
直線性：±8μm～
再現性：0.5μm～
重量：約60g ※センサケーブル(0.3m）含む
特殊モデル
青色レーザータイプ、ロングスタンドオフ、長距離モデルとラインナップが豊富です。
アンプ一体型高精度モデル青色レーザー(有機体)
ILD1750BL
新技術の青色レーザー変位センサは、通常の赤色レーザーでは計測の難しい、赤熱金属やシリコン樹脂を、高精度に測定することが可能です。ベニヤ、木材、または皮膚など有機物のようにレーザー光が測定対象物表面に浸透するような場合でも、青色レーザーは、高精度に測定することが可能です。
測定範囲：20/200/500/750mm
直線性：±0.06%～±0.09%
分解能：0.8μm～45μm
レーザー光：405nm(青色) 1mW 以下クラスII
測定範囲：20/200/500/750mm
直線性：±0.06%～±0.09%
分解能：0.8μm～45μm
レーザー光：405nm(青色) 1mW 以下クラスII
アンプ一体型・高精度ロングスタンドオフモデルILD1710-50
ILD1710-50
より遠くの位置から限定エリアを高精度に測定。
長距離 CCDセンサ
ロングディスタンス･高精度
測定範囲：50mm
直線性：0.1％
分解能：0.01％
サンプリングレート：2.5kHz
長距離 CCDセンサ
ロングディスタンス･高精度
測定範囲：50mm
直線性：0.1％
分解能：0.01％
サンプリングレート：2.5kHz
アンプ一体型・高精度ロングスタンドオフモデルILD1760-1000
ILD1760-1000
広い測定範囲が要求されるアプリケーション用途に設計されました。
露光中のターゲットの反射率をリアルタイムに判断し最適な制御をする
リアルタイムサーフェス補正機能を搭載し、変化する表面においても安定した測定を提供致します。
測定範囲 ：1,000mm
直線性 ：±1mm
繰返し精度 ：0.1mm
サンプリングレート ： 最大7.5KHz
露光中のターゲットの反射率をリアルタイムに判断し最適な制御をする
リアルタイムサーフェス補正機能を搭載し、変化する表面においても安定した測定を提供致します。
測定範囲 ：1,000mm
直線性 ：±1mm
繰返し精度 ：0.1mm
サンプリングレート ： 最大7.5KHz
超高精度モデル
アンプ一体型で、研究開発用途に最適なモデルを掲載しています。特に、サンプリングレート49kHzのILD2300は、弊社取扱のレーザーセンサラインナップの中でも最高の精度と安定を誇るフラッグシップ機です。
超高速・高精度アンプモデル(安定性に優れた高分解能タイプ)
ILD2300
ILD2300は、マイクロエプシロンのレーザー変位センサの最新ハイエンドモデルです。この新モデルでは、調整可能のサンプリングレートが最大49.02kHzとなっています。すべての電子装置を一体化したコンパクトな設計は、このクラスのセンサでは、世界唯一の製品です。